01.產品特點
● 通過更換傳感器就可以檢測多種氣體的半導體材料氣體檢測器
● 傳感器經過校準和交付，無需現場氣體校準。此外，無需工具即可輕松更換傳感器
● 小巧·輕便的設計
● 通過LCD顯示屏輕松了解氣體濃度，報警狀態和錯誤信息
● 采樣流量的自動控制功能
● 當插入與設置不同的傳感器時，傳感器具有防止錯誤插入的功能
● 通過連接PDA，可以獲取存儲在檢測單元中的數據
● 轉換器單元（選件）可用于檢測NF3和CCl2
● 符合CE標準
● 符合SEMI標準
02.連接方式
03.產品參數
04.對應氣體一覽表
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