利用微橋氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)。AWM1000 系列氣體質(zhì)量流量傳感器具有標(biāo)準(zhǔn) AWM2000 系列的所有優(yōu)良性能，而且更加經(jīng)濟(jì)實(shí)惠。此裝置提供準(zhǔn)確、可重復(fù)的氣流傳感。傳感器與傳感器的可互換性規(guī)格約是 AWM2000 系列的兩倍。

根據(jù)操作規(guī)范的要求，同時(shí)具備加熱器控制電路和傳感橋供電電路。這兩種電路不在傳感器電路板上，因此必須在應(yīng)用中提供。差分放大電路可能有助于提供輸出增益和/或?qū)㈦妷浩脤?dǎo)入傳感器輸出。

注意：產(chǎn)品損傷

AWM 系列微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器不適用于測(cè)量液體流量，液體流過(guò)傳感器時(shí)會(huì)損壞傳感器。

• 補(bǔ)償溫度范圍

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 流量/壓力范圍

• 1000 sccm (1.0 SLPM) 至 -600 sccm

• ±200 sccm

• ±10.0 mbar [4.0 H20]

• 電源電壓

• 最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc

• UNSPSC 代碼

• 41111931

• 沖擊

• 100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)

• 零位

• ±1 mV dc

• 輸出溫漂

• ±4% 滿(mǎn)量程

• ±22% 讀數(shù)

• 端口類(lèi)型

• 直

• 傳感器電流

• 典型值 0.3 mA，最大 0.6 mA

• 信號(hào)調(diào)節(jié)

• 非放大式 (mV)

• UNSPSC 商品

• 41111931 流量傳感器

• 可重復(fù)性

• ±1% 滿(mǎn)量程

• 調(diào)整點(diǎn)的輸出電壓

• 20.0 mVdc，水中 2.0

• 100 sccm 時(shí)，30.0 mV dc

• 650 sccm 時(shí)，50.0 mV dc

• 存儲(chǔ)溫度

• -40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]

• 介質(zhì)兼容性

• 僅干燥氣體

• 重量

• 10.8 g

• 系列名稱(chēng)

• AWM1000

• 功耗

• 典型值 30 mW，最大 50 mW

• 工作溫度

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 整個(gè)溫度范圍內(nèi)的零位

• ±0.7 mV dc（最大）

• 響應(yīng)時(shí)間

• 典型值 1 ms，最大 3 ms

• 共模壓力

• 25 psi