n 超純柱 超純柱采用核子級拋光樹脂，更高交換效率，制備18.2 M Ω.cm 超純水。 n 大功率雙波紫外燈 雙波紫外燈（185 nm 和254 nm），殺滅細菌等微生物的同時，有效降解有機物，降低TOC 含量。
型號 | UPW-P |
進水及出水 | |
進水水質 | 純水（電導率<20 μs/cm） |
進水溫度 | 5-40℃ |
進水壓力 | - |
出水水質 | 超純水 |
超純水指標 | |
電阻率 25℃ | 18.2 MΩ |
電導率 25℃ | 0.055 μs/cm |
流速 | 1.5-2 L/min |
TOC | <10 ppb |
顆粒物（≥0.22 μm） | <1 pc/ml |
細菌 | <1 cfu/ml |
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