吉時利儀器公司不斷增強半導體行業(yè)性價比最高的高速生產(chǎn)參數(shù)測試方案——S530參數(shù)測試系統(tǒng)的功能。由于有吉時利測試環(huán)境軟件(KTE V5.4）的支持，S530目前配置為48引腳全Kelvin開關以及脈沖發(fā)生、頻率測量和低電壓測量的新型集成選件。這些新增強的功能幫助S530系統(tǒng)實現(xiàn)了更寬范圍的生產(chǎn)參數(shù)測試應用和高速、經(jīng)濟有效的測試方案。

48引腳全Kelvin開關配置

S530低電流系統(tǒng)利用高性能開關矩陣控制測量儀器與測試引腳之間的信號傳輸，實現(xiàn)了一直到探針引腳的亞皮安級測量分辨率和低電流防護。目前，此系統(tǒng)的最新功能增強支持48引腳全Kelvin（4線式）開關配置，使以前提供的全Kelvin引腳數(shù)量翻番。通過保持與全Kelvin開關和連線有關的信號完整性，同時將系統(tǒng)最大引腳數(shù)翻番，S530結合了精密高速測量和增強的系統(tǒng)配置靈活性以確保未來的全面測試覆蓋。

環(huán)路振蕩器選件的測量功能

一種新的高速、高分辨率示波器選件支持寬頻測量范圍上的環(huán)路振蕩器測試。該新系統(tǒng)選件以高達400兆采樣/秒的采樣速率實現(xiàn)了從大約10kHz至20MHz的測量。隨著越來越多的半導體晶圓廠已將環(huán)路振蕩器納入整個過程控制監(jiān)測測試結構中，參數(shù)測試系統(tǒng)的頻率測量功能變得日益重要。

脈沖發(fā)生選件的功能

隨著更多的集成電路設計中引入了嵌入式存儲器例如閃存，半導體晶圓廠不斷將內存結構和測量加入過程控制監(jiān)測程序，這些器件的測試要求輸出用戶定義的電壓脈沖來設置和擦除內存單元，再進行器件的精密直流測量。為滿足此需求，把現(xiàn)在放置電容-電壓(C-V)儀器卡的相同子系統(tǒng)機箱集成2通道、4通道或6通道脈沖發(fā)生功能至S530的配置中，使S530產(chǎn)生寬范圍的器件測試波形并增強系統(tǒng)靈活性。

系統(tǒng)DMM選件

作為過程控制監(jiān)測的一部分，測試范德堡和金屬結構要求結合低壓測量、高測量分辨率和卓越的可重復性。對于這些應用而言，S530系統(tǒng)現(xiàn)提供專為低壓測量優(yōu)化的7位半、低噪聲數(shù)字萬用表選件。它在最低量程（100mV）上具有10nV分辨率，在次低量程（1V）上具有100nV分辨率，同時具有7ppm直流電壓可重復性。

選擇低電流或高電壓系統(tǒng)

有兩種不同配置的S530系統(tǒng)。S530低電流系統(tǒng)適于測量亞域值漏電、柵漏電等特性。S530高壓系統(tǒng)包含的源測量單元（SMU）能輸出高達1000V@20mA（20W最大值）至任意系統(tǒng)引腳。此版本優(yōu)化了GaN、SiC和Si LDMOS功率器件所需的難度較大的故障測試和漏電測試。雖然新的48針Kelvin開關是低電流系統(tǒng)的獨特功能,但所有新的量測選項都可搭配于這兩個系統(tǒng)。