AWM2000 系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器是由兩個惠斯通橋構(gòu)成的被動裝置。根據(jù)操作規(guī)范，還需具備發(fā)熱器控制電路。根據(jù)操作規(guī)范，還需具備傳感橋供電電路。這兩種電路不在封裝電路板上，因此必須在應(yīng)用中提供。差分放大器是一個有用的傳感橋接口。它可用于增加增益并將電壓偏置引入傳感器輸出。

• 補償溫度范圍

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 流量/壓力范圍

• ±30.0 sccm

• ±1000 sccm (1 SLPM)

• ±10.0 mbar [4.0 H20]

• ±200 sccm

• 電源電壓

• 最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc

• UNSPSC 代碼

• 41111931

• 沖擊

• 100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)

• 輸出溫漂

• ±5% 讀數(shù)

• 零位

• ±1 mV dc

• 端口類型

• 直

• 信號調(diào)節(jié)

• 非放大式 (mV)

• 傳感器電流

• 最大 0.6 mA

• 可重復(fù)性

• ±0.35% 讀數(shù)

• ±1% 讀數(shù)

• UNSPSC 商品

• 41111931 流量傳感器

• 調(diào)整點的輸出電壓

• 650 sccm 時，50.0 mV dc

• 在水中 2.0 時，20.0 mV dc

• 25 sccm 時，11.8 mV dc

• 100 sccm 時，30.0 mV dc

• 存儲溫度

• -40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]

• 介質(zhì)兼容性

• 僅干燥氣體

• 氫氣

• 重量

• 10.8 g

• 系列名稱

• AWM2000

• 功耗

• 典型值 30 mW，最大 50 mW

• 工作溫度

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 整個溫度范圍內(nèi)的零位

• ±0.20 mV dc

• 響應(yīng)時間

• 典型值 1 ms，最大 3 ms

• 共模壓力

• 25 psi